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全自動光學檢測一體機

概述

描述：全自動光學檢測一體機
適用產品：裸片/帶鐵框
產品尺寸：8”&; 12”
產品厚度：50um-900um
產品翹曲度：500um
掃描方式：2D 線掃
軟體編輯模式：在線或者離線
物鏡：X2.8，X5，X7.5，X10
缺陷檢出能力：2um@5X，1um@10X
過濾系統(tǒng)：Class 100

詳情內容

機臺簡介

描述：全自動光學檢測一體機

適用產品：裸片/帶鐵框

產品尺寸：8”&; 12”

產品厚度：50um-900um

產品翹曲度：500um

掃描方式：2D 線掃

軟體編輯模式：在線或者離線

物鏡：X2.8，X5，X7.5，X10

缺陷檢出能力：2um@5X，1um@10X

過濾系統(tǒng)：Class 100

適用產品

一般規(guī)格

廠務過濾系統(tǒng)	100級
光學字符識別	機臺配備了光學字符識別器讀取產品的信息
條形讀碼器	基恩士條形讀碼器
條形讀碼器	手動條形讀碼
自動化	RORZE 雙手臂
自動化	300mm 平臺
雙進料平臺	配備8/12寸鐵框入料平臺
雙進料平臺	根據客戶需求可配置8/12寸裸片入料平臺
機械結構	根據客戶要求配備
	12寸切割后標準配置
	8寸切割后標準配置
軟體	自主研發(fā)的2D掃描算法
	表面檢驗算法
	切割后檢測算法
	2D 計量算法
	可編輯多種程式
地圖格式	可多種格式
半導體設備通訊標準	配備

產品尺寸	8" & 12"
產品類型	標準：帶鐵框產品；可選擇：裸片產品
產品厚度	50μm-900μm
產品翹曲度	500um
晶粒偏移	50um
最小晶粒尺寸	100um * 100um
全自動從傳送	帶鐵框產品和裸片產品可全自動傳送
傳送手臂	雙手臂
破片率	不超過 1/100,000
光學字符識別	機臺內部上方配備
操作模式	在線和離線
電腦配置	工業(yè)電腦
離線模式功能	支持改機，復判等一系列操作
條形讀碼器（支持自動或者手動）	單個或兩個條形讀碼器，可選擇手動模式

基礎規(guī)格

地圖格式	導入: .txt & .xlsx & .dwt
地圖格式	輸出: .txt & .xlsx & .jpg
掃描之后給挑揀的地圖格式	標準格式
缺陷地圖格式	標準格式
切割后檢測	標準格式
墨點地圖	標準格式
離子風扇	入料區(qū)和掃描區(qū)各配備一支
報警燈	三色報警燈和揚聲器
平均故障間隔時間	≥1000hrs
平均故障修復時間	≤ 4hrs
平均輔助間隔時間	≥ 6hrs
平均維護時間	< 20minutes
運行時間	≥95%

檢驗規(guī)格

鏡頭和解析度	1.8um/2.8X
	1um/5X
	0.7um/7.5X
	0.5um/10X
檢驗能力	2um @ x5, 1um @ X10
缺陷捕獲率	99.5% @ 2 pixels s iz e defects
重復性	98%
鏡頭測量能力	Mag x5: 3um @ 3σ
12寸產出率	60WPH @ x2.8（掃描時間）
	30WPH @ x5（掃描時間）
	19WPH @ x7.5 （掃描時間）
	14WPH @x10（掃描時間）
8寸產出率	95WPH @ x2.8（掃描時間）
	48WPH @ x5 （掃描時間）
	30WPH @ x7.5 （掃描時間）
	22WPH @x10 （掃描時間）
NG照片	上傳&下載